超高纯气体系统过滤器主要是过滤系统内部高纯气体中含有的杂质污染物,它的原理是通过扩散和截获机理将气体中粒子过滤掉。如果有任何杂质在超纯气体里就会造成气体质量下降,影响气体的纯度。

超纯气体指纯度高于99.99%的气体,是一种高纯化学试剂。它主要应用在一些科学研究和尖端技术的特殊应用上,比如半导体工业中会用到氢、氮、氦、硅烷等单一超纯气体作为保护气和载气,也可在高温扩散炉中用作器件的保护气。除此之外,也有不少超纯混合气体作为色谱、质谱和光谱分析中的标准气来使用。

超高纯气体过滤器通常安装在阀门、配件下游和进气前的部分,供气系统内部由于振动效果或者强气流冲击导致金属粒子脱落,容易将粒子污染物带入气体中,因此需要在用超高纯气体过滤器过滤。超高纯气体过滤器能对超纯气体进行有效精密过滤,可通过多级处理满足工况要求,产品一体化无缝结合无焊接部位,适用于高压工况下的气体及液体过滤。

由于很多高压气体系统内部压力的很高的,因此耐高压超高纯气体过滤器采用316l不锈钢材质,耐压能力强,适合多种高压工况系统。产品体积小,安装方便,与大多数高纯度半导体工艺气体具有良好的兼容性;微纳米颗粒过滤能力保持高流量效率,超小压降。

半导体行业中几乎各道工序都用到超纯气体,器件的质量与超纯气体的纯净度有密切关系。因此,对于超纯气体的过滤净化是要起到重视作用的,选择一个质量过硬的超纯气体过滤器能够帮助有效去除脱落粒子,保护超纯气体的纯度避免工程损失和损坏。